���o�@h��d/?���/����o�x�[���!m�d���� �f�jnf�b �1��
m鞊��f>\��ƻ'����7�y��*��|3n�.�å�75�����4�3�*n�c�.n���r�#ٍ�#�é�i�bz����>��]wi(����s���k�!9�4_�c���' �ڱ��=��̧�69t���y����*��hqª��u�r0aד
<�qol����#@ߊ�ob��}��)=�ѽ�9�"��a7�i��hw���q�����w��!����s�}���g��4rd����
�/o���`�&��*�ݩ� m��l����l����z���9q�o��k�6��{�bq�z[��v��?_�o��˯��ruz7���6-x�v���x��7��
ԍ�[�t���q5s%��,��q�4�rp��f
\}@u<�q|�4���ige\��{ik�p
p���g[c$v�|l�w�pq)��"s�-�j�e�z5'
��fu-թ�սh�<:�j���͡l^���5��a�����$�y��32�v�>*ܢ�z<_��d��$���{�gu�"v�z�`���3�v���d߀�y�te�8�]�7�r��g��o�#k���rt�z͕f�b��� ��1���r���ep
*a���d6y>�f�p�m�:\�x�/(�ԁlh��elc�l�!�r��ʿ��^��jt>)v�!�1)���k�dbbuuved�ξ楔o�x|�fl*�1�_�*�3��>le�/pc��m���']�����8fy��r�s��d7�z�`�*�n^ٍrwť�%�r
���*z?�ˈձ�@��#�)�s�bylþ�������i*��6�9��m�y&��l��i���hł�=(k&�� v��.k��lduĕ�{d ������ꦚ�e��nɵ��g�(�mn5ߜjv�6����&3(��a���/e4�r;��,/�ު"zb�f5��8��w��v��="\p��ka�f!xqqc,������!�_c�:��p[|��� l ��l�t���#h��
&m��w��j�f})m��%�.в���4vٜ��\�lc�vlm�n55x�d��ф8�ǘh�/]|��
/s���m@�pk
�n�@_rels/pk�n�@�֧�6_rels/.rels���j�0���}q��%v/��c/�}�(h"���o�
������=������ ����c?�h�v=��ʌ��%[xp��{۵_�pѣ<�1�h�0���o�r�bd���je�4b$��q_����6l��r�7`�������0̞o��,�en7�li�b��/�s���e��е����pk
�n�@theme/theme/_rels/pk�n�@
ѐ��'theme/theme/_rels/thememanager.xml.rels��m
�0���wooӻ�&݈э���5
6?$q��
�,.�a��i����c2�1h�:�q��m��@rn��;d�`��o7�g�k(m&$r(.1�r'j��њt���8��v�"��aȼ�h�u}��|�$�b{��p����8�g/]�qasم(����#��l�[����pk�n�@ �$��[content_types].xml���n�0e�h���-j��@%�ǎǣ|�ș$�ز�u��l�tb� l,���x\���v��t�u^h�d}㨫���)��*1p�'���^ח��0)�t�9��l�#��$��>����� `?�cs]7�zb$�x��u��-lv�{9>�d�v�nj����,���5�(�bȥs��zҕhhs�0u~,}�2��to�f�0,�į�*�=댬o[g��v;� �9���'�3��3�y ; ��o�opk�n�@ �$�� � [content_types].xmlpk
�n�@�_rels/pk�n�@�֧�6 �_rels/.relspk
�n�@theme/pk
�n�@$theme/theme/pk
�n�@�theme/theme/_rels/pk�n�@
ѐ��' theme/theme/_rels/thememanager.xml.relspk�n�@4q��� theme/theme/theme1.xmlpk�n�@ky�}� ntheme/theme/thememanager.xmlpk ?#���x��tablestylemedium9pivotstylelight16`�(g�nhv�spe���vv��5��2print_titles;���_d��n12025t^�^�nhv��y�b/g�spe�tm�n��blf�~h��^�s
t�y/f&t���mrn�w�^�b/gchy�l'`����bl� t�r���t�b/g�spe �wzz��&t >f:yusmo� pa / torr / mtorr kn���s�nal�bckmϑ��v��skmwzzĉ�{zj-51/zj-54da5uam���[��v�zj-51�80^�160 �ma,�0.1^�200 �pa�zj-54d�20^�30 � ma��0.1^�2000 �pa�kmϑ�|�^�d"�30%���pe�|�^ �,��^ex�{�y{|��s�hkm�v�n�pvpwzzĉ�{�ۏ�s dv �|rwzzĉ�{�svg0 �|rĉ�{�hkm�r���]\o5u�n� dc 12v 1500 mah 'y�[ϑ�5u`lm�n��bl;n:g1�s�ffn1�n�c4y2*nkm�s�n9 kmϑ��v:/ec$n�ykm�s!j_��s\-�v�l!j_n�(0.65 ~600)mm;�v�l-�v�l!j_n�(3~100)mm :yf:y!j_:us�pkmϑ0gf:yo\0c:yop�t�#�hvt�d\o�nxt o��oo`�v^o(u c.��t�^�d\o0&��ywq g4�y�hkm!j_�ꁨr�hkm!j_0�{�~�hkm!j_0|i�[�hkm!j_�tؚupoe�^!j_"��ywq g݄yr�r����s�n�t�y�r��yޏ�c�o(uzf���]�h�^(u�[�s�hkm�r��0/��ywq gꁨrh�[�r�����yꁨr�[bh�[�e��n�]r^���h�[ǐz-no\u^>f:yh�[ۏ�^�0^�100%)��ywq g�bʋ�e�r����y�su���eo\u^
n�s>f:y{|�@?�@� iii~
e�p@�
f% i~
!c@�
!c&�
!c ~
!h�?�
!h!k�"ccc"e�������?�
"l'"k�#ccc~
#e^@�
#l(#k�$ccc~
$e@`@�
$l)$k�%ccc~
%e�a@�
%l*%k�&ccc~
&e�?�
&l &k�'ccc~
'ed@�
'l,'k�(ccc~
(e@e@�
(l-(k�)ccc~
)e�f@�
)l.)k�*ccc~
*e�g@�
*l/*k� ccc�
j�
l0 k�,ccc,e��(\���?�
,l1,k�-ccc-e�q����?�
-l2-k�.ccc.e�g�z�?�
.l3.k�/ccc/e=
ףp=�?�
/l4/k�0ccc0effffff�?�
0l50k�1ccc1effffff�?�
1l61k�2ccc2e���(\��?�
2l72k�3ccc~
3e@]@�
3l83k�4ccc~
4e�]@�
4l94k�5ccc~
5e�]@�
5l:5k�6ccc~
6m^@�
6l;6k�7ccc~
7e@^@�
7l<7k�8ccc~
8h@�
8h8k�9ccc~
9e@j@�
9l=9k�:ccc:e������@�
:l>:k�;ccc;effffff@�
;l;k�<ccc~
<en@�
<l?<k�=ccc~
=e@�
=l@=k�>ccc~
>e@p@�
>la>k�?ccc~
?e�p@�
?lb?k�d� l6p:666666666:::::::6666666::666@�@a�@b�@c�@d�@e�@f�@g�@h�@i�@j�@k�@l�@m�@n�@o�@p�@q�@r�@s�@t�@u�@v�@w�@x�@y�@z�@[�@\�@]�@^�@_�@�@ccc~
@e�q@�
@lc@k~
ac@�
acd�
ac ~
ah�?�
ah�
ace�bcccbe�������?�
blfbcb
n�cccc~
ch@�
chcc�dccc~
de@j@�
dlgdc�ecccee������@�
elhec�fcccfeffffff@�
flifc�gccc~
gen@�
gljgc�hccc~
he@�
hlkhc�iccc~
ie@p@�
illic�jccc~
je�p@�
jlmjc�kccc~
ke�q@�
klnkc~
lc@�
leo�
lc ~
lh�?�
lh�
lcp�mcecme�������?�
mlqmc�ncec~
ne^@�
nlrncn
n�ocec~
oe@`@�
olsoc�pcec~
pe�a@�
pltpc�qcec~
qe�?�
qluqc�rcec~
rh@�
rhrc�scec~
se@j@�
slvsc�tcecte������@�
tlwtc~
uc@�
ueo�
uc ~
uh�?�
uh�
ucx�vcecve�������?�
vlqvcv
n�wcec~
we^@�
wlywc�xcec~
xe@`@�
xlsxc�ycec~
ye�a@�
yltyc�zcec~
ze�?�
zlzzc�[cec~
[h@�
[h[c�\cec~
\e@j@�
\lv\c�]cec]e������@�
]lw]c~
^c@�
^eo�
^c ~
^h�?�
^h�
^c[�_cec_e�������?�
_lq_c_
n�d
l6td66::66666t:@66666:td666666:t`�@a�@b�@c�@d�@e�@f�@�`cec~
`e^@�
`l\`c�acec~
ae@`@�
alsac�bcec~
be�a@�
bl]bc�ccec~
ce�?�
cl^cc�dcec~
dh@�
dhdc�ecec~
ee@j@�
elvec�fcecfe������@�
flwfc�
x666666>�@<��d ���"
!@akltu]^f
!@akltu]^f
!@akltu]^f
!@akltu]^fgg����d
����
�������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������� ���~��&o������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������� �.�a
��
�����oh�� '��0�h�px|�
����administratorhtl ^�^�@���&��@�������microsoft exceldocumentsummaryinformation8���������������������������������������������������
��՜.�� ,��d��՜.�� ,���h(�08@�0t�|��icvksoproductbuildver�$3da75bf5b0a443a79f9efe35e663a259_132052-12.1.0.21915